Stickstoffgenerator für die LED-Chip-Produktion

Stickstoffgenerator für die LED-Chip-Produktion

Bei der Herstellung von LED-Chips wird Stickstoff üblicherweise als Träger- und Schutzgas während des epitaktischen MOCVD-Wachstums verwendet. Wenn die Stickstoffreinheit uneinheitlich ist oder Spuren von Sauerstoff und Feuchtigkeit enthält, kann der Epitaxiewafer direkt oxidieren, was sich auf die Chipausbeute auswirkt. Der Stickstoffgenerator für die LED-Chip-Produktion ist als -Gaslösung vor Ort speziell für diese Prozessanforderung konzipiert.
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Produkteinführung

Bei der Herstellung von LED-Chips wird Stickstoff üblicherweise als Träger- und Schutzgas während des epitaktischen MOCVD-Wachstums verwendet. Wenn die Stickstoffreinheit uneinheitlich ist oder Spuren von Sauerstoff und Feuchtigkeit enthält, kann der Epitaxiewafer direkt oxidieren, was sich auf die Chipausbeute auswirkt. Der Stickstoffgenerator für die LED-Chip-Produktion ist als -Gaslösung vor Ort speziell für diese Prozessanforderung konzipiert.

 

Arbeitsprinzip und Designlogik

Das Gerät arbeitet mit der PSA-Technologie (Pressure Swing Adsorption). Kohlenstoffmolekularsiebe trennen Sauerstoff von Stickstoff unter unterschiedlichen Drücken und erzeugen so hoch-reinen Stickstoff direkt aus Druckluft. Im Vergleich zur Flüssigstickstoffversorgung werden bei der Erzeugung vor Ort Reinheitsschwankungen und Versorgungsunterbrechungen vermieden, die durch Transport oder Flaschenwechsel verursacht werden-.

Für LED-Produktionslinien ist ein zusätzliches Reinigungsmodul erforderlich. Dadurch erreicht der Stickstoff eine Reinheit von über 99,9995 % und hält den Taupunkt stabil unter -70 Grad. Dies ist das entscheidende technische Merkmal, das einen Stickstoffgenerator für die LED-Chip-Produktion von herkömmlichen industriellen Stickstoffgeneratoren unterscheidet.

 

Leistungsreferenztabelle

Parameter

Reichweite

Stickstoffreinheit

95 % – 99,9995 % (größer oder gleich 99,9995 % üblich für LED)

Durchflussrate

1 – 500 Nm³/h (einstellbar)

Atmosphärischer Taupunkt

Kleiner oder gleich -70 Grad

Ausgangsdruck

4 – 8 bar (einstellbar)

Betriebstemperatur

5 Grad – 45 Grad

Energieverbrauch

Weniger als oder gleich 0,25 kWh/Nm³ (basierend auf 99,99 % Reinheit)

 

Energieverbrauch und Betriebskosten

Die LED-Produktion läuft kontinuierlich, sodass der Energieverbrauch für Käufer ein langfristiges-Problem darstellt. Bei einer Reinheit von 99,99 % verbraucht das Gerät zwischen 0,18 und 0,25 kWh pro Nm³. In Kombination mit einem energiesparenden Steuerungssystem und einem Luftkompressor mit variabler Drehzahl-kann das Gerät die Last in Zeiten mit geringem{8}}Bedarf automatisch reduzieren und so den Stromverbrauch weiter senken.

 

Technische Spezifikationen und Projektabwicklung

Das Gerät verfügt über eine modulare, auf Kufen montierte Struktur mit geringer Stellfläche, die für saubere Versorgungsbereiche in einer Fabrik geeignet ist. Zu den Schlüsselkomponenten gehören:

  • Dual-Turm-PSA-Adsorptionssystem
  • Hochpräzise Online-Überwachung von Taupunkt und Reinheit
  • Automatische-Umschaltung und Fehleralarm
  • Gasleitungen und staubdichter Schrank aus Edelstahl

Die Lieferung eines Standard-Stickstoffgenerators für die LED-Chip-Produktion umfasst: Haupteinheit des Stickstoffgenerators, Reiniger, Bedienfeld, Ventile und Armaturen sowie eine Bedienungsanleitung. Die Lieferzeit beträgt in der Regel 30 bis 45 Werktage. Vor--Installationsanleitungen und Inbetriebnahmeunterstützung sind verfügbar.

 

Zertifizierungen und Qualitätsstandards

Design und Herstellung folgen:

  • ISO 9001:2015
  • ASME / GB150 (je nach Kundenanforderung)
  • CE-Zertifizierung (optional)
  • Sicherheitsvorschriften für Druckbehälter

Jedes Gerät wird vor Verlassen des Werks einer Dichtheitsprüfung, einem Adsorptionsleistungstest und einer kontinuierlichen Betriebsprüfung unterzogen.

 

Industrielle Anwendungen und typische Szenarien

Wir geben keine spezifischen Kundennamen an, aber dieses Gerät wird häufig verwendet in:

  • Anlagen zur Herstellung von LED-Epitaxie-Wafern
  • Produktionslinien für Verbindungshalbleiter
  • Elektronische Spezialgas-Unterstützungssysteme

Kundenfeedback weist im Allgemeinen auf eine stabile Stickstoffausbeute, eine konstante Taupunktleistung und lange Wartungsintervalle hin. In einer LED-Chip-Produktionslinie liegt der wahre Wert eines Stickstoffgenerators für die LED-Chip-Produktion nicht darin, die Stickstoffkosten zu senken, sondern darin, den Ertrag zu schützen und einen kontinuierlichen Betrieb sicherzustellen.

 

Projektabwicklungs- und Anpassungsmöglichkeiten

Wir unterstützen die Anpassung basierend auf:

  • Durchflussrate und Reinheit (1 – 500 Nm³/h)
  • Standortbedingungen (hohe Temperatur, hohe Luftfeuchtigkeit, Reinraumbereiche)
  • Steuerlogik (SPS-Marke, Kommunikationsprotokoll)
  • Ersatzteilpakete und langfristige -Serviceverträge

Lieferprozess: technische Bestätigung → Zeichnungsfreigabe → Fertigung → hausinterne Tests → Verpackung und Versand → Inbetriebnahme vor Ort.

 

Shenger Gas konzentriert sich auf die Erzeugung von Stickstoff durch PSA- und Membrantrennung und bedient die Elektronik-, Halbleiter-, Chemie-, Metallurgie- und andere Industriezweige. Bei der Herstellung von LED-Chips befolgen wir eine einfache Regel: Prozessverständnis steht vor dem Verkauf von Geräten. Jedes Projekt wird von technischen Ingenieuren mit Erfahrung im Halbleiter-Support bearbeitet. Der von Shenger Gas gelieferte Stickstoffgenerator für die LED-Chip-Produktion läuft seit über drei Jahren kontinuierlich in mehreren LED-Produktionslinien in China, ohne dass es zu Prozessanomalien aufgrund von Stickstoffqualitätsproblemen kommt.

Für eine Auswahlberatung oder ein detailliertes technisches Datenblatt wenden Sie sich bitte direkt an den technischen Support.

 

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